外觀、 三氯氫硅、 二氯二氫硅、 四氯化硅、 氯硅烷聚合物、 鋁（Al）、 磷（P）、 鐵（Fe）、鉻（Cr）、銅（Cu）、鋅（Zn）總量、 硼（B）、鎵（Ga）、銦（In）總量、 總碳（以C計）；

工業三氯氫硅是一種無機化合物，化學式為SiHCl3。為無色液體，溶于苯、乙醚、庚烷等多數有機溶劑，主要用于制造硅酮化合物；主要作為多晶硅和硅烷偶聯劑等的原料。
健明迪檢測可以提供工業三氯氫硅檢測服務，報告具有CMA和CNAS資質。

GB/T 28654-2018 工業三氯氫硅
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